過(guò)氧化氫滅菌器采用過(guò)氧化氫為滅菌因子殺滅負(fù)載微生物，壓力、溫度、時(shí)間等滅菌的主要技術(shù)參數(shù)由程序設(shè)定并控制。滅菌器一般由滅菌室、加注系統(tǒng)、汽化系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、回空系統(tǒng)、等離子體發(fā)生器等組成。
（1）滅菌室：該部分為滅菌器的核心承壓部件，是運(yùn)行滅菌過(guò)程的載體。通常由腔體、艙門(mén)等組成一個(gè)密閉的空間。若具有等離子功能還配有網(wǎng)狀電極。通過(guò)管路與真空系統(tǒng)、注入系統(tǒng)、進(jìn)氣系統(tǒng)等相連接。網(wǎng)狀電極與外部的等離子體發(fā)生器電源相連接。艙門(mén)的控制可以有自動(dòng)方式、手動(dòng)方式等。
（2）真空系統(tǒng)：該部分實(shí)現(xiàn)對(duì)滅菌室的抽真空等功能。真空性能與過(guò)氧化氫的汽化、擴(kuò)散穿透效果密切相關(guān)。通常由真空泵、壓力傳感器、油霧過(guò)濾器、過(guò)氧化氫氣體過(guò)濾器、抽空控制閥等組成。真空泵和壓力傳感器是實(shí)現(xiàn)真空的核心部件，影響真空性能的優(yōu)劣。
（3）加注系統(tǒng)：該部分實(shí)現(xiàn)對(duì)過(guò)氧化氫滅菌劑的存放、定量、加注。目前產(chǎn)品以卡匣式加注為主，也有瓶裝加注方式。卡匣式結(jié)構(gòu)通常由穿刺機(jī)構(gòu)、加注裝置、閥門(mén)、管道等組成。
（4）汽化系統(tǒng)：該部分實(shí)現(xiàn)將加注的液態(tài)過(guò)氧化氫充分汽化，并均勻擴(kuò)散到滅菌室內(nèi)。目前產(chǎn)品大多采用先將過(guò)氧化氫溶液提純，然后再汽化；也有部分產(chǎn)品采用直接汽化的方式。提純過(guò)程就是將低濃度的過(guò)氧化氫提高到較高濃度。過(guò)氧化氫氣體在擴(kuò)散過(guò)程中會(huì)不斷分解，純度提高后，有利于提高氣體的穿透能力，以滅菌效果。通常由提純裝置、加熱裝置（加熱膜、加熱棒等）、汽化室、電磁閥、溫度檢測(cè)裝置等組成。
（5）控制系統(tǒng)：該部分實(shí)現(xiàn)對(duì)滅菌過(guò)程的壓力、溫度、時(shí)間等過(guò)程參數(shù)的控制、顯示、輸出，達(dá)到滅菌所需的量值和精度，并對(duì)預(yù)設(shè)周期參數(shù)進(jìn)行監(jiān)控。通常由控制裝置、顯示裝置、數(shù)據(jù)記錄裝置等組成。
（6）等離子體發(fā)生器：該部分實(shí)現(xiàn)對(duì)滅菌物品上殘留過(guò)氧化氫解析，以達(dá)到安全要求。目前產(chǎn)品以等離子體方式解析為主，也有部分產(chǎn)品采用通風(fēng)方式進(jìn)行解析。通常由等離子電源、電極網(wǎng)連接電纜等組成。
（7）回空系統(tǒng)：該部分與真空系統(tǒng)配合，實(shí)現(xiàn)將空氣過(guò)濾后注入到滅菌室內(nèi)或排出氣體，用于消除室內(nèi)負(fù)壓或用于過(guò)氧化氫殘留解析。通常由空氣過(guò)濾器、回空控制閥等組成。
